關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體;高純材料; 質(zhì)譜；雜質(zhì)分析；美析儀器：www.tudou159.cn；ICP-MS6880

　　電感耦合等離子體質(zhì)譜分析法是將電感耦等離子體(ICP)技術(shù)和質(zhì)譜(MS)技術(shù)結(jié)合起來， 利用等離子體作為離子源，由接口將等離子體中被 電離了的試樣離子引入質(zhì)譜儀，用質(zhì)譜儀對(duì)離子進(jìn)行質(zhì)量分析(按m／Z比值將不同的離子分開)并檢測記錄，根據(jù)所得質(zhì)譜圖進(jìn)行定性定量分析。
　　具有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：
　　(1)靈敏度高：ICP-MS6880儀器的靈敏度一般高出lCP-AES一到兩個(gè)數(shù)量級(jí)，從而對(duì)多數(shù)元素能達(dá) 到更低的檢出限：
　　(2)動(dòng)態(tài)線性范圍寬：
　　(3)可多元素同時(shí)分析；
　　(4)分析速度快，單個(gè)樣品一般在幾秒鐘內(nèi)完成：
　　(5)分析元素范圍廣，能分析元素周期表中除碳、氫、氧外的絕大多數(shù)元素． 正因?yàn)檫@些優(yōu)點(diǎn)，使ICP-MS6880分析技術(shù)廣泛應(yīng) 用于半導(dǎo)體工業(yè)用高純材料的痕量雜質(zhì)分析中．
　　主要進(jìn)行的高純材料分析
　　1. IC硅片表面雜質(zhì)分析
　　2. 光伏多晶硅、單晶硅雜質(zhì)分析
　　3. 三氯氫硅、四氯化硅： ICP．MS法測定高純四氯化硅中們、V、cr、‘ Co、Ni、Cu、Pb、Zn、Mn九種金屬元素．
　　4. 超凈贏純?cè)噭┓治觯豪浞?、硝酸、硫酸、鹽酸、氨水、雙氧水等超純無機(jī)試劑，和異丙醇(IP：A)、丙酮、四甲基氫氧化銨(TMAH)，N．甲基丙絡(luò)烷酮 (NMP)、丙二醇甲基醚乙酯(PGMEA)等超純有機(jī)試劑
　　5. 超純水分析
　　6. 高純氣體分析